0768nm！美国造出07nm芯片EUV光刻机做不到！
来源：manbetx万博体育入口 发布时间：2024-11-17 08:32:08本周，美国公司Zyvex使用电子束光刻技术制造了768皮米，也就是0.7nm的芯片。
众所周知，目前5nm及以下的尖端半导体制程必须要用到价格极其高昂的EUV光刻机，ASML是全球唯一的供应商。
更为尖端2nm制程的则需要用到ASML新一代0.55 NA EUV光刻机，售价或高达4亿美元。
但是，要想实现1nm以下的更先进的制程，即便是ASML新一代0.55 NA EUV光刻机也束手无策。
近日美国一家旨在开发和商业化原子精密制造 (APM) 技术的公司Zyvex Labs 宣布推出了全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统“ZyvexLitho1”。
它并没有采用EUV光刻技术，而是基于STM扫描隧道显微镜，使用的是电子束光刻（EBL）方式，可以制造出具有0.768nm线个硅原子的宽度）的芯片，精度远超EUV光刻机。
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