【48812】苏企助力高端电子显微技能自主化进程

  近来，姑苏博众仪器科技有限公司成功研制出具有世界领先水平的热场发射电子源。该产品能用于电子显微设备和电子束光刻设备等范畴，标志着我国在热场发射电子源方面完结了国产化代替，为高端电子显微技能自主化进程供给了强壮助力。一起，其作为电子束的共性根底元件，也将对开展电子束相关设备，如开展电子束光刻机等设备奠定坚实根底。现在，该产品已获得相关发明专利。

  该热场发射电子源功能杰出，针尖曲率半径精准控制在 400-900nm 之间，角电流密度达200-500uA/Sr，在 200kV高压下，亮度可达 6.5x108-1.5x109A/(c㎡Sr)，能在1700-1850K 的温度环境下安稳作业。其不只功能比美世界顶尖产品，在性价比上更是优势凸显。现在，该产品已作为老练产品对外出售，进入量产阶段，并可供给定制化服务。

  长期以来，电子显微镜商场，尤其是高端扫描电子显微镜、透射电子显微镜等范畴，一向被美国的赛默飞、日本的日本电子和日立等企业牢牢把控。电子源作为电子显微镜的中心部件，技能门槛极高、研制难度巨大，一向是国产电子显微镜开展的瓶颈。而在各类电子源中，热场发射电子源使用最为广泛，其亮度远超钨灯丝和 LaB6 灯丝，且具有更小的能量涣散和光斑直径。但此前只要赛默飞、日本电子、日立、DENKA 和 YPS 等国外企业具有老练产品，国内企业不只面对收购周期长、本钱高的问题，更在中心技能上无法自主可控。

  热场发射电子源作为透射电镜的中心部件，自博众仪器科技公司建立之初就开端研制，历经 3年多，团队总算打破关键技能难题，成功研制出安稳性很高、性价比更高的热场发射电子源。除透射电子显微镜外，本次发布的热场发射电子源还可使用于扫描电子显微镜、聚集离子束、电子束光刻设备、CD-SEM等电子束相关设备，可使用范畴包括高校院所、微纳标准表征、半导体工业等。

  未来，博众仪器还将继续发力，以完结透射电子显微镜的彻底国产化研制和制作为方针，连续推出使用于高端仪器设备范畴的超高安稳电源等中心产品，为我国高端仪器设备职业的蓬勃开展贡献力量。（苏报融媒记者 韩丽媛 实习生 陈雨欣）