【48812】扫描电子显微镜原理

  扫描电子显微镜，英文名称为SEM，是scanningelectronmicroscope的简写。扫描电子显微镜首要是使用二次电子信号成像来调查样品的外表形状，即用极狭隘的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互效果发生各种效应，其间首要是样品的二次电子发射。

  真空体系----最重要的包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内发生真空。

  电子束体系----电子束体系由电子枪和电磁透镜两部分所组成，大多数都用在发生一束能量散布极窄的、电子能量确认的电子束用以扫描成像。电子枪用于发生电子，首要有使用场致发射效应发生电子和使用热发射效应发生电子两种。

  成像体系----电子通过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互效果，会发生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以要不同的探测器比如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区别这些信号以取得所需求的信息。

  扫描电镜的作业原理首要是使用二次电子成像，它作业原理是这样的：从电子枪灯丝宣布的直径约20～35μm的电子束，遭到阳极1～40kV高压的加快射向镜筒，并遭到榜首、二聚光镜和物镜的会聚效果，缩小成直径约几十埃的狭隘电子束射到样品上。

  与此一起，偏转线圈使电子束在样品上作光栅状的扫描。电子束与样品相互效果将发生多种信号，其间最重要的是二次电子。因为操控镜筒入射电子束的扫描线圈的电路一起也操控显像管的电子束在屏上的扫描。用这种办法就如电视机屏上的像相同，一点一点，一线一线地组成了像。

  图画为立体形象，反映了标本的外表结构。为了使标本外表发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的炮击下宣布次级电子信号。